壓電納米位移臺

壓電陶瓷電機(jī)是最近20年發(fā)展起來的新技術(shù)。使用壓電陶瓷電機(jī)的定位產(chǎn)品，結(jié)構(gòu)簡單，尺寸緊湊，可以在數(shù)十毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)納米級別的最小步長，從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程不足，而微米電動臺分辨精度不高的問題。 卓聚科技率先在國內(nèi)研發(fā)出能產(chǎn)品化的壓電陶瓷電機(jī)線性位移平臺和旋轉(zhuǎn)臺等超精密位移產(chǎn)品，性能指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了此領(lǐng)域的國產(chǎn)產(chǎn)品空白。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、光通訊、生物醫(yī)療、電子顯微、先進(jìn)制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域。